真空镀膜设备冷水机有什么作用？
真空冷水机广泛应用于工业制冷，它能提供恒流、恒温、恒压，控制真空电镀设备的温度，不同工艺流程需要控制不同的温度，真空电镀设备中冷水机可以分为风冷式的冷水机和水冷式的冷水机，水冷式冷水机达到好的冷却效果加冷却水塔，风冷式冷水机对工作环境有要求，它通过热风循环制冷，通风效果的好坏直接影响到冷水机的制冷效果。
冷水机应当具备水温调节控制能力，不受气温及环境影响；性能要稳定，---长年连续运转情况下不出现故障；节能省电，有自我调节功能，有效节约电；噪音要低，应当有缺相、错相、电流过载、高低压保护系统。真空电镀设备配备冷水机是为了达到率、控制温度的目的以---镀件的高，增加镀件的密度和平滑，缩短电镀周期，提高生产效率和---产品的。
真空电镀设备---的冷水机主要组成有：压缩机，贮液器，干燥过滤器，热力膨胀阀，蒸发器，制冷剂，冷凝器。压缩机是---，冷水机制冷系统通过压缩机输入电能，将热量冲低温环境排放到高温环境，制冷压缩机决定整个系统的效率。贮液器安装在冷凝器后面，于冷凝器的排液管直接连通，贮液器起到调剂和贮存制冷剂的作用。
真空镀膜设备的环境要求
由于真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。
我国制定的各种真空镀膜设备的行业标准（包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备）都对环境要求作了明确规定。只有满足了真空镀膜设备对环境的要求，才能使该设备正常运转，加上正确的镀膜工艺，方能生产出合格的镀膜产品。
真空镀膜设备故障排除及检漏方法
真空镀膜设备故障排除及检漏方法在真空镀膜设备正常工作时,主开关电路中的开关管处于饱和导通状态,管压降保持在100v左右,栅极得到正偏压50v,高压指示6kv(或10kv)。从检测电路r21上得到的电压控制信号不---使d13稳压管击穿导通,bg14、bg15、bg16处于截止状态,而bg11、bg12、bg13处于导通状态,由bg11输出一个2.5v左右的高电位。栅压切换电路上的bg10得到2.5v的电压控制信号而处于导通状态,使得bg9的基极电位变为0电位而截止,主开关管通过d6、d7得到正向50v偏置的电压。同时bg7、bg8也处于导通状态,d8稳压管击穿导通,提供主开关管栅极恒定的电流。由于bg10处于导通状态,使得帘栅控制电路的bg4的基极处在0电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号ur2的控制。当ur2<ud2时,输出的帘栅压的大小是随ur2的变化而变化。
在真空镀膜设备不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压,使得高压无输出。由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路r21取得的过流信号,使得d13稳压管被击穿导通,bg14、bg15、bg16处于导通状态,c13通过bg14、r51放电,使得bg11、bg12、bg13很快截止,bg11输出为0v。栅压切换电路上的bg10得到0v的输入信号而截止,bg9---导通,550v正端通过bg9接到主开关管的阴极,负端通过d5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550v偏压而进入---截止,此时高压就没有指示了。
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