真空磁控溅射镀膜设备-梅州镀膜设备-至成镀膜设备生产厂家

真空磁控溅射镀膜机的维护保养及安全工作措施

真空卷绕镀膜机的维护保养及安全工作措施如下：

1、设备接地必须---，并经常检查接地装置导电作用。

2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与---接触，以免泵油氧化。

3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，---设备冷却水供水畅通。

4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水，以防止电极和基材烧毁。

6、在拆装设备各零部件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以---设备密封性能---。

7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗，必须以相同的润滑油充入。

8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量，并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护保养。

9、定期检查各行程开关控制器，---各工作部件处于正常工作状态。

10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。

11、定期检查各减速器的储油量及油质。

怎么给真空镀膜设备的真空泵换油在使用真空镀膜设备时，对机器的保养工作是十分重要的。他能有效提高机器的寿命，那么对于其中的真空泵的换油工作，究竟该如何呢？我们通常在机器工作3个月时间左右，就要对机器的油进行更换，在比较湿润的地方或者湿润的气候，这种地方的空气对于真空泵中的润滑油的污染是非常---的，所以我们要根据情况缩短更换润滑油的时间。我们要做的就是把真空泵从真空电镀系统中拆出来。将底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出。再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上，对内部进行清洗。照此操作3—5次，等到污油放清后，再装上放油塞，将真空泵放平从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。真空泵换油的是不适宜长久的开动电机，以避免使排气阀片跳动太过于剧烈和疲劳。严禁使用---、酒精和等对泵作非拆卸的清洗。