真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用
真空计：真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计，真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍，因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。成膜控制系统，薄膜监控目前应用方式比较多，主要有：目视监控法，定（极值）值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定（极值）监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控，就是采用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是---确，需要依靠经验。
如何减少真空镀膜机中的灰尘1、使用的源材料要符合---的纯度要求；2、样品取出后放置的环境要注意清洁问题；3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理；4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求；5、工作人员要有专门的工作服装，操作要戴手套、脚套等；6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物；7、技术上明确允许的大颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限大致是多少；8、室内空气流动性低、地面干净，如果是的水泥地，需要覆盖处理，墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。
箱式真空镀膜机
采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和维修；整机表面平整，方便清洁，---适合放置在净化间内做穿墙式安装。
设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。
采用管状加热器上烘烤，烘烤温度均匀，---，可达到烘烤温度350℃，烘烤均匀性270℃±10℃。
工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳---。
采用石英晶体膜厚控制仪，可实现镀膜过程的自动控制。
采用---的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定---，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
适用范围:用于生产ir-cut滤光片、分色滤光片、高反射膜、ar膜、长波通、短波通和多种电学薄膜
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