真空电镀设备膜厚的不均匀问题
无论监控仪精度怎样,它也只能控制真空室里单点位置的膜厚,一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的,那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性,但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的,所以几乎是不可能消除的,但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响化。
在过去几年中,越来越多的用户要求镀膜系统制造厂家提供---的小规格、简便型光学镀膜系统,同时,用户对性能的要求不仅没有降低,反而有所提高,---是在薄膜密度和---吸水后光谱变化化等方面。
现在,系统的平均尺寸规格已经在降低,而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。因此,选用现代化光学镀膜系统的关键取决于对以下因素的认真考虑:对镀膜产品的预期性能,基片的尺寸大小和物理特性以及---高度一致性工艺所必需的所有技术因素。
刀具超硬膜离子镀膜机
刀具超硬膜离子镀膜机为在工具、刀具上镀硬质或超硬保护膜而设计,采用---的磁场控制技术使电弧在靶材整个表面做快速的移动,涂层表面光滑致密,靶材表面被均匀刻蚀,优化了涂层结合力。低温至300℃,也具有---的涂层附着力,新技术带来了更快的批次周转效率,优化了涂层生产效率,高精密度,在有效镀层范围内涂层厚度均匀。
可镀制tin、crn、altin、alcrn、ticn、tialcrn、tialsin、dlc、多层超硬膜等,应用于精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、零配件等)。
模具超硬膜离子镀膜机
模具超硬膜离子镀膜机是为模具镀硬质或超硬保护膜而设计的。真空镀膜机真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只圆形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,---足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。
工件可三维运动,提高膜层均匀性,全自动控制提高工艺稳定性,可镀制tin、tic、ticn、tialn、tialcn、ticrn、ticrcn、tialcrn、多层超硬膜等,应用于精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)。
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