模具超硬膜离子镀膜机
模具超硬膜离子镀膜机是为模具镀硬质或超硬保护膜而设计的。真空镀膜机真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只圆形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，---足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。
工件可三维运动，提高膜层均匀性，全自动控制提高工艺稳定性，可镀制tin、tic、ticn、tialn、tialcn、ticrn、ticrcn、tialcrn、多层超硬膜等，应用于精密模具业（冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等）、工具行业（钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等），汽车工业（活塞、活塞环、合金轮毂等）。
真空镀膜机实验---设备玻璃制扩散泵真空系统
真空泵按工作条件的不同分为两类：能够在---压下工作的真空泵称为初级泵（如机械泵），用来产生预备真空，需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵（玻璃扩散泵），次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。
扩散泵的液体油有多种,目前广泛使用的是3号扩散泵油（20℃时饱和汽压为1.3×10-6pa）沸点375℃和275号硅油（20℃时饱和汽压为1.3×10-8pa）沸点430℃。扩散泵开始工作之前,必须先开动机械泵抽气，达到预备真空时，便可以使用电炉对扩散泵蒸发器中的油进行加热,约25～35min的时间,便---察到,扩散泵油开始沸腾。当硅油加热至沸腾时430℃,便产生大量油蒸汽,蒸汽经过导管由各级喷嘴高速喷出。
真空镀膜设备维护和保养方法：
（1）真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
方法是：用（naoh）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（al）与naoh发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
（2）当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
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