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多功能镀膜设备及镀膜方法与流程

现在，真空镀膜机是用于外表处理pvd膜层的---设备，包含真空磁控溅射镀膜机、真空蒸腾镀膜机、真空多弧离子镀膜机等，真空磁控溅射镀膜机可在低温状态下进行非金属资料进行镀膜，真空蒸腾镀膜机和真空多弧离子镀膜机归于高温镀膜，适用于金属资料镀膜。

每种镀膜机都有各自特色和使用范围约束，如需镀制多种不同膜层以及进行金属和非金属资料的镀膜，需求置办上述多种真空镀膜机，存在设备出资大的缺陷。

为了处理上述问题，供给一种多功能镀膜设备及镀膜办法。手套箱蒸镀一体机，本体系由真空镀膜体系和手套箱体系集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体空气下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。首要用于太阳能电池钙钛矿、oled和pled、半导体制备等试验研讨与使用。

蒸腾镀膜与手套箱组合，完成蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造，使整个薄膜成长和器材制备进程高度集成在一个完好的可控环境空气的体系中，消除有机大面积电路制备进程中---环境中不稳定要素影响，---了、大面积有机光电器材和电路的制备。