真空磁控溅射镀膜机的维护保养及安全工作措施
真空卷绕镀膜机的维护保养及安全工作措施如下：
1、设备接地必须---，并经常检查接地装置导电作用。
2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与---接触，以免泵油氧化。
3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，---设备冷却水供水畅通。
4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。
5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水，以防止电极和基材烧毁。
6、在拆装设备各零部件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以---设备密封性能---。
7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗，必须以相同的润滑油充入。
8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量，并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护保养。
9、定期检查各行程开关控制器，---各工作部件处于正常工作状态。
10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。
11、定期检查各减速器的储油量及油质。
怎么给真空镀膜设备的真空泵换油在使用真空镀膜设备时，对机器的保养工作是十分重要的。他能有效提高机器的寿命，那么对于其中的真空泵的换油工作，究竟该如何呢？我们通常在机器工作3个月时间左右，就要对机器的油进行更换，在比较湿润的地方或者湿润的气候，这种地方的空气对于真空泵中的润滑油的污染是非常---的，所以我们要根据情况缩短更换润滑油的时间。我们要做的就是把真空泵从真空电镀系统中拆出来。将底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出。再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上，对内部进行清洗。照此操作3—5次，等到污油放清后，再装上放油塞，将真空泵放平从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。真空泵换油的是不适宜长久的开动电机，以避免使排气阀片跳动太过于剧烈和疲劳。严禁使用---、酒精和等对泵作非拆卸的清洗。
真空磁控溅射镀膜机用户设置具体设置
按“用户设置”钮进入真空磁控溅射镀膜机的用户设置界面，里面的数值除了时间参数可以根据机器运行情况作适当调整外，其余参数经调试设定后一般不作修改。各参数功能如下：
主辊加速时间设定：用于设定主辊从低速度0m/min加速---速度400m/min的所需时间。单位：5秒。当输入数值为4时，加速时间是20秒。
主辊减速时间设定：用于设定主辊从高速度400m/min减速至低速度0m/min的所需时间。单位：5秒。
收卷张力零速保持：用于设定零速张力保持时，收卷的力矩输出值。
放卷张力零速保持：用于设定零速张力保持时，放卷的力矩输出值。
编码器辊直径输入：此数值为编码器辊直径的实际测量值。此数值必须正确无误，以---设备运行过程的稳定性。
放卷初径误差值正设定：用于设定卷绕系统启动运行时，“放卷初始卷径输入”值允许高于实际测量值的误差值。
放卷初径误差值负设定：用于设定卷绕系统启动运行时，“放卷初始卷径输入”值允许低于实际测量值的误差值。
摆辊动作时间设定：用于设定摆臂在自动控制模式时，摆辊电眼检测到信号后摆臂自动往外退的动作时间。
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