pvd真空镀膜机镀膜技术工艺步骤及原理
厂家在采购pvd真空镀膜机时,商家都会培训pvd真空镀膜机的相关知识,如镀膜技术工艺步骤、原理、保养维护方法,机器的运行注意事项等等,今天至成小编为大家介绍一下pvd真空镀膜机镀膜技术工艺步骤和原理。
pvd真空镀膜机镀膜技术工艺步骤,分为以下四个步骤:
(1)清洗工件:接通直流电源,ar气进行辉光放电为ar离子,ar离子轰击工件表面,工件表层粒子和脏物被轰溅抛出;
(2)镀料的气化:即通入交流电后,使镀料蒸发气化。
(3)镀料离子的迁移:由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞以及高压电场后,高速冲向工件;
(4)镀料原子、分子或离子在基体上沉积:工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。
如果是镀离子镀时,蒸发料粒子电离后具有三千到五千电子伏特的动能,高速轰击工件时,不但沉积速度快,而且能够穿透工件表面,形成一种注入基体很深的扩散层,离子镀的界面扩散---可达四至五微米,也就是说比普通真空镀膜的扩散---要深几十倍,甚百倍,因而彼此粘附得---牢。
磁控真空镀膜机做渐变色原理
现在很多物件都镀有渐变色,颜色很绚丽也很显目,现在很多牌子手机壳也应用了这种渐变色,因此,渐变色也越来越受人们关注,渐变色制作原理也激起了大家的兴趣,今天至成小编为大家详细介绍一下真开工镀膜机做渐变色的原理和方法,希望能帮助到大家。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等。主要思路是分成蒸发和溅射两种。而渐变色的工艺制法一般用的磁控溅射镀膜设备,目前华为、联想等多款手机渐变色外壳都采用了pvd真空渐变镀膜工艺。
磁控溅射真空镀膜设备是现有产品在真空条件下镀膜使用的多的一种设备,一---整的磁控溅射真空镀膜机是由多部分系统组成的,每个系统可以完成不同的功能,从而实现终的---镀膜,磁控溅射镀膜其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。
磁控溅射真空镀膜机的主体是真空腔,真空腔大小是由加工产品所决定,磁控溅射镀膜的大小能定制,腔体一般是用不锈钢材料制作,要求结实---不生锈等。磁控溅射镀膜真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。
磁控溅射镀膜成膜控制系统能采用不同方式,比如固定镀制时间、目测、监控以及水晶震荡监控等。真空镀膜机、真空镀膜设备镀膜方式也分多种工艺,常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。磁控溅射方式镀制的膜层附着力强,膜层的纯度高,可以同时溅射多种不同成分的材料。
影响离子镀膜层的工艺参数
基片偏压.
离子镀膜基片施加负偏压后;各种离子和高能中性粒子流以较高的能量轰击基片表面.基片负偏压的提高,会使基片表面获得更高的能量,可能形成伪扩散层,提高膜层与基体的附着力,还可以改变膜层的组织、结构和性能,如细化晶粒,图2表明,随着基片负偏压的提高,膜层组织变细,但是,基片负偏压的提高也会产生一些不利的影响,如反溅射作用的增加,使膜层表面受到刻蚀,使表面光洁程度降低,图3表明了空心阴极离子镀铬时,基片负偏压对铬膜表面光泽度的影响,基片负偏压的提高还会使沉积速率降低,使基片温度升高,图4表明了电弧离子镀tin膜基片负偏压对沉积速率的影响,因此,应根据不同的离子镀方法、不同的膜层及使用要求选择适当的基片负偏压。
镀膜真空度和反应气体分压.
离子镀膜真空度对膜层组织、性能的影响与真空蒸镀时的影响规律相似,但反应气体分压对反应离子镀镀制化合物膜的成分、结构和性能有直接的影响,图5是hcd离子镀tin膜的硬度与氮气分压的关系,因此反应气体的分压应根据离子镀方法,化合物膜层的成分、性质、使用要求以及设备来选择
基片温度.
离子镀膜基片温度的高低直接影响着膜层的组织、结构和性能。一般情况下,温度的升高有利于提高膜层与基片的附着力,有利于---膜层的组织与性能。但是,温度过高,则会使沉积速率降低,有时还会使膜层晶粒粗大,性能变坏;图6中hcd离子镀铬膜显微硬度受基片温度影响的规律。另外,基片温度的选择还要受基片材料性质的---,如钢材的回火温度等
蒸发源功率.
蒸发源功率对蒸发速率有直接的影响,进而影响沉积速率,影响膜层的组织、性能,对反应沉积化合膜时蒸发源功率也将影响膜层的成分。
为了获得所需性能的膜层,应综合分析、考虑各种因素,迭择镀膜方法和确定合理的镀膜工艺参数。
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