镀膜设备的镀膜方式及常会遇到的问题
镀膜设备就是在高真空状态下通过高温将金属铝熔化蒸发,使铝的蒸汽沉淀堆积到塑料薄膜表面上,从而使塑料薄膜表---有金属光泽的设备。真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。
镀膜设备的镀膜方式:离子镀,蒸发镀,溅射镀
(1)镀膜设备的特点:成膜速度快0.1-50um/min,设备比较简单,操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。
(2)缺点:薄膜附着力较小,结晶不够完善,工艺重复性不够好。
镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?
一。产品表面洁净度不够,离子源清洗ar气放大时间长点。
二。清洗是否有加了清洗剂,或者更换了清洗剂,建议用纯水先试一下。
三。工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。
真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有---的抽速,但不能抽---,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ar有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在---压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmhg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度,选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg,能达到1mmhg较好。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
真空镀膜机冷却系统的原理及监控方法
真空镀膜设备的金属罩体通过安装孔然后以焊接的方式固定在真空镀膜机的外壁上,待冷却的外壁通过加强圆槽形成渠道,这样---了冷却的流通,也避免的死角现象的产生,有效的对镀膜机进行了快速的降温,降低了油泵的温度,加强了冷却的强度,结构简单,安全---等有点,在真空镀膜机冷却外壳上包括金属罩体的原因是数个排列有序,并且内凹的加强圆槽,所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔,所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上,在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道,根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳,其特征在于,在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5_,根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳,其特征在于,所述加强圆槽的大直径为24-136mm。
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