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齿轮传动真空镀膜机

齿轮传动真空镀膜机制备的硬质涂层可降低滑动磨损（由混合摩擦引起）、刮伤（润滑膜的位置或低周边速度过载的位置）、点蚀（齿轮齿表面的抗压强度太低的位置），甚至在要求严格的条件下（例如在运动中），硬质涂层的齿轮传动元件不但仍能运转更---，而且其性能也更进了一步。真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只园形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，---足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动，提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。

真空抽气系统的结构与工作原理

高真空卷绕镀膜机的真空抽气系统由卷绕室抽气机组和镀膜室抽气机组组成。

卷绕室抽气机组由1台油增压泵、2台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油增压泵作为主泵，以---在达到10-1pa的工作压力下有较大的抽气速率；

镀膜室抽气机组由1台油扩散泵、1台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油扩散泵作为主泵，以---铝丝蒸发所需的10-2pa真空状态。

真空抽气系统由可编程plc集中控制，在液晶触摸屏上进行操作，分为自动控制和手动控制两种模式。正常操作使用自动模式，plc将根据在真空计中设定的各级真空值对各台真空泵的启动或停止、阀门的开启或关闭等功能实现自动控制。手动控制模式主要供调试和检修时使用，可以实现单独开闭各泵和阀门的操作。

真空管道上的阀门均为气动控制阀，并采用电磁换向阀控制其开启或关闭，阀门上的气缸配有位置信号开关，方便控制系统对阀门的状态实施监控。

在罗茨泵与滑阀泵的连接管道上装有气动充气阀，可供滑阀泵停止时向泵腔内充入---之用，其开、闭动作与滑阀泵联动，由可编程plc控制其滞后或提前的时间。

镀膜室抽气方阀上装有气动放气阀，供卷绕结束时卷绕车退出前向真空室内充入---之用，其开启动作和时间长短由可编程plc控制。

各个真空管道上装有真空测量规管座以提供可编程plc和真空计所需的真空压力信号，同时为维修、检测真空系统各管道的压力提供方便。