真空镀膜机原理和各部件分析一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用多的有直径1、3m、0、9m、1、5m、1、8m等，腔体由不锈钢target=_blank>不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。二、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。
ar+af溅射镀膜机有哪些特点
专门为层数不多但要求产能大、的光学薄膜产品镀膜生产而设计，适用于玻璃和塑胶光学镜片、眼镜片af、as膜的镀膜生产，也适用于手机视窗(玻璃或塑胶)、塑胶片材彩色光学膜的制备。旋转阴极装置与行内普通平面靶装置相比靶材使用周期与利用效率---提高。可客制化的基板工件架结构定制，给客户产品摆放达到利用空间。率真空泵组配比与精密的腔体结构使我司抽气效率达到行业水平。至成---rf离子源具有工作范围广能量均衡，高离化率，超稳定工作效率，低耗能等特点。可生产高折射率氮化薄膜，提高薄膜硬度性能。低温成膜，可应对各种用途。可依靠负载锁定装置保持稳定的成膜品质。利用自动溅射控制装置，使溅射工艺实现了自动化。可选“校正板外部调节机构”。
电子束光学镀膜机有哪些特点
在玻璃/pmma/pc基片上形成光学多层薄膜的精密真空镀膜机。将满足客户需求的多种元件组合在一起，可以形成品质优良的薄膜。
基片伞架采用了每分钟可转60转的中心旋转方式(公转)，减少产生振动和颗粒，使基片能够稳定旋转。
采用坩埚上没有极片的电子束加热方式(2台电子枪，10kw型)作为蒸发源，可以稳定地形成多层膜。
采用本公司---的比率控制法和多点在线监控，可以形成且稳定的光学多层膜。
可利用操作性---的升降机来取出基片伞架。
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