真空镀膜机实验---设备玻璃制扩散泵真空系统
真空泵按工作条件的不同分为两类:能够在---压下工作的真空泵称为初级泵(如机械泵),用来产生预备真空,需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵(玻璃扩散泵),次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。
扩散泵的液体油有多种,目前广泛使用的是3号扩散泵油(20℃时饱和汽压为1.3×10-6pa)沸点375℃和275号硅油(20℃时饱和汽压为1.3×10-8pa)沸点430℃。扩散泵开始工作之前,必须先开动机械泵抽气,达到预备真空时,便可以使用电炉对扩散泵蒸发器中的油进行加热,约25~35min的时间,便---察到,扩散泵油开始沸腾。当硅油加热至沸腾时430℃,便产生大量油蒸汽,蒸汽经过导管由各级喷嘴高速喷出。
pvd镀膜膜层的特点,采用pvd镀膜技术镀出的膜层,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、---的耐腐蚀性和化学稳定性等特点,膜层的寿命更长;同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。pvd镀膜能够镀出的膜层种类,pvd镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的型表面处理方法,它能够制备各种单一金属膜(如铝、钛、锆、铬等),氮化物膜(tin、zrn、crn、tialn)和碳化物膜(tic、ticn),以及氧化物膜(如tio等)。pvd镀膜膜层的厚度—pvd镀膜膜层的厚度为微米级,厚度较薄,一般为0.3μm~5μm,其中装饰镀膜膜层的厚度一般为0.3μm~1μm,因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能,镀后不须再加工。
真空镀膜机溅射镀膜与蒸发镀膜的区别:
蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易---,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
溅射镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。真空镀膜机设备
溅射镀膜又分为很多种,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。
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